美國mks G 系列質量流量計

美國mks  G 系列質量流量計

GM50A 和 GM51A 是通用的金屬密封質量流量計 （MFM），非常適合需要從 5 sccm 到 50 slm 滿量程、相當于 N2 的流量計量的各種應用。這些儀表集成了最新的數字流量計電子元件以及經過充分驗證的熱傳感器和機械設計。

GM50A 寬 1.45 英寸。

GM51A 寬 1.25 英寸。

嵌入式用戶界面可輕松更改范圍和氣體，減少所需的庫存

現場監控和收集設備數據

16 微英寸 316L 表面光潔度，適用于高純度應用

多種數字或模擬 I/O 選擇

多氣體/多量程能力

多氣體/多量程功能，以及嚴格的精度性能規格，使用戶能夠最大限度地減少高流量MFM零件編號的庫存。多氣體/多量程功能（以及其他自定義控制）可通過MFM嵌入式診斷接口訪問，無需特殊的軟件或硬件即可操作。標準以太網電纜和支持 JAVA 的 HTML 瀏覽器（廣泛可用）是所需的所有工具。典型高流量氣體的關鍵氣體參數已經存儲在設備上。配置設備只需從下拉菜單中選擇氣體所需的滿量程流量范圍即可。診斷界面還允許用戶執行常規設備運行狀況檢查、繪制流程并存儲操作數據以進行離線分析。

GM100A 是一款通用的金屬密封質量流量計 （MFM），GM100A-MFM非常適合需要從 100 sccm 到 100 slm 滿量程、N2 等效流量計量的各種應用。GM100A 儀表

集成了最新的數字流量計電子元件以及久經考驗的熱傳感器和機械設計。

嵌入式用戶界面允許更改原位范圍和氣體以及數據收集

表面處理使MFM可用于高純度應用

多種數字或模擬 I/O 選擇

美國mks  G 系列質量流量計

GE250A是一種通用的彈性體密封MFM，GE250A-MFM具有從250 sccm到250 slm滿量程，相當于N2的流量測量能力。GE250A結合了最新的數字流量控制電子設備以及經過充分驗證的熱傳感器和機械設計。此 MFM 提供模擬或數字 I/O。數字控制電子元件采用最新的MKS控制算法，提供準確且可重復的流量測量。

嵌入式用戶界面允許更改原位范圍和氣體以及數據收集

表面處理使MFM可用于高純度應用

多種數字或模擬 I/O 選擇

GE300A是一種通用的彈性體密封MFM，GE300A-MFM非常適合需要從300 sccm到300 slm滿量程，相當于N2的流量測量能力的各種應用。GE300A結合了最新的數字流量控制電子設備以及經過驗證的熱傳感器和機械設計。此 MFM 提供模擬或數字 I/O。數字控制電子元件采用最新的 MKS 控制算法，提供準確且可重復的流量測量。

嵌入式用戶界面允許更改原位范圍和氣體以及數據收集

表面處理使MFM可用于高純度應用

多種數字或模擬 I/O 選擇